一种蚀刻液循环再生及提铜装置及方法:离子膜(或隔膜)电解再生法:酸性蚀刻再生采用"离子膜电解铜"工艺。该工艺是用离子膜(或隔膜)将电解槽的阳极区和阴极区分隔成两个自立的区域;阳极区为废蚀刻液再生区,它...
氢氧化钾(KOH)和添加剂2-丙醇(异丙醇,IPA)通常用于单晶硅片的碱性织构化,以减少其反射。氢氧化钾和异丙醇在水中的蚀刻混合物需要明确定义氢氧化钾和异丙醇的水平,以消除锯损伤,并获得完全随机金字塔...
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