CMP技巧归纳了化学和机器抛光的上风：纯真的化学抛光，抛光速率较快，外面光洁度高，毁伤低，完善性好，但外面平整度和平行度差，抛光后外面平等性差；纯真的机器抛光外面平等性好，外面 平整度高，但外面光洁度差，毁伤层深。化学机器抛光能够或许得到较为完善的外面，又能够或许得到较高的抛光速率，得到的平整度比其余办法高两个数量级，是今朝能够或许完结全局平面化的独一有用办法。 根据机器加工道理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化实践、外面工程学、半导体化学根底实践等，对硅单晶片化学机器抛光（CMP）机理、动力学控制进程和影响身分研讨表明，化学机器抛光是一个繁杂的多相反应，它存在着两个动力学进程： ...

抛光粉的硬度：硬度大的颗粒具有较快的切削率，参加助磨剂也能够或许进步切削率。 抛光粉的悬浮性：高速抛光恳求抛光粉具有较好的悬浮性，颗粒外形和大小对悬浮性有较大影响，片状的抛光粉和小颗粒的抛光粉的悬浮性较好。悬浮性的进步也能够或许经过参加悬浮剂来完结。 抛光粉的颗粒布局：颗粒布局是团圆体颗粒照样单晶颗粒决定了抛光粉的耐磨性和流动性。团圆体颗粒在抛光进程中会决裂，然后招致耐磨性下降，单晶颗粒具有好的耐磨性和流动性。 抛光粉的颜色：与质料中的镨含量和温度无关，镨含量越高，抛光粉越显棕赤色。低铈抛光粉中含有大批的镨，因而显棕赤色。对纯氧化铈抛光粉，焙烧温度高，抛光粉的颜色偏白红，温度低，颜色偏浅黄。一...

在稀土抛光材料生产制备流程中，沉淀法是以稀土溶盐为原料锻烧沉淀，主要方法有碳酸盐法、碱盐法、草酸盐法、氢氧化物、硫酸复盐等。 (1)以碳酸稀土混合物(Ce02含量约45%)为原料，制备高铈抛光粉的工艺：碳酸稀土混合物经锻烧生成氧化稀土，用酸处理CeO(oH)2沉淀和三价稀土溶液，洗涤CeO(OH)2沉淀、干燥、锻烧可得到Ce02含量98—99%的高铈抛光粉，用酸处理得到Ce02含量5~5um的高铈抛光粉，平均粒径1.5~2um，相对其他稀土抛光材料有很好的抛光能力。 (2)氯化稀土用水溶解成氯化稀土溶液，用碱和氧化剂处理得氢氧化铈，再用酸处理得铈浓缩液，加入沉淀剂得沉淀物，经于干燥、锻烧、粉碎...

稀土抛光材料中的主要成分为氧化铈，一般情况下都是根据其中氧化铈的含量划分等级。抛光粉中的氧化铈含量越高，它的抛光能力越强，寿命越长，相应的价格也就会高。反之，铈含量低，价格也就低。 它的初始抛光能力和高铈产品基本没有差别，但是其寿命短。以不同的原料、工艺制备的抛光粉中氧化铈的含量也不同!大理石晶面抛光粉SH-98 （晶面、防护二合一）工艺原理晶面处理就是利用晶面处理药剂，在晶面处理机的重压及其与石材磨擦产生的高温双重作用下，通过物化反应，在石材表面进行结晶排列，形成一层清澈、致密、坚硬的保护层，起到增加石材保养硬度和光泽度的作用，本品为独特工艺配方，使用石材表面产生化学双重反应，能同时使石材增...

堆积方法：堆积进程决议了抛光粉晶粒的大小和形状，终究影响稀土抛光材料的抛光速度、耐磨性、流动性等运用功用。可选用草酸和碳酸氢铵两种堆积剂出产抛光粉，草酸盐得到的抛光粉具有单晶结构，粉体具有出色的流动性，易于沉降，便用水力方法进行分级；碳酸盐得到的抛光粉呈片状聚会体结构，悬浮性较好，但耐磨性、流动性不如草酸盐出产的抛光粉，但因出产成本较低而得到选用。 分级方法：抛光粉在运用前均需进行分级，一般有水力沉降、湿式筛分、干式筛分、水力悬流分级、气流分级等方法。草酸盐出产的抛光粉一般选用湿式筛分或水力悬流分级；碳酸盐制得的抛光粉大多选用气流分级方法完结。 使用抛光粉的注意事项进行了一些小总结： 1.检查...

在稀土抛光材料生产制备流程中，沉淀法是以稀土溶盐为原料锻烧沉淀，主要方法有碳酸盐法、碱盐法、草酸盐法、氢氧化物、硫酸复盐等。 (1)以碳酸稀土混合物(Ce02含量约45%)为原料，制备高铈抛光粉的工艺：碳酸稀土混合物经锻烧生成氧化稀土，用酸处理CeO(oH)2沉淀和三价稀土溶液，洗涤CeO(OH)2沉淀、干燥、锻烧可得到Ce02含量98—99%的高铈抛光粉，用酸处理得到Ce02含量5~5um的高铈抛光粉，平均粒径1.5~2um，相对其他稀土抛光材料有很好的抛光能力。 (2)氯化稀土用水溶解成氯化稀土溶液，用碱和氧化剂处理得氢氧化铈，再用酸处理得铈浓缩液，加入沉淀剂得沉淀物，经于干燥、锻烧、粉碎...

稀土抛光材料的硬度： 抛光粉的实在硬度与材料有关，如氧化铈的硬度便是莫氏硬度7左右，各种氧化铈都差不多。但不同的氧化铈体给人感觉硬度不同，稀土抛光材料是因为氧化铈抛光粉一般为聚会体，附图为一个抛光粉聚会体的电镜照片。因为烧成温度不同，聚会体的强度也不一样，因而使用时会有硬度不一样的感觉。当然，有的抛光粉中加入氧化铝等较硬的材料，表现出来的磨削率和耐磨性都会提高。 稀土抛光材料的应用： 抛光粉具有较优的化学与物理功能，所以在工业制品抛光中获得了普遍的应用，如已在各种光学玻璃器材、电视机显像管、光学眼镜片、示波管、平板玻璃、半导体晶片和金属精密制品等的抛光。氧化铈与硅酸盐玻璃的化学活性较高，硬度...

（3）中度划痕：能看得到，手指肚感觉不出来，只能用指甲盖感觉得出来的划痕。 修复组合：可以依次使用粉红色、蓝色、橙色研磨片进行研磨，结尾用稀土抛光材料抛光。 （4）轻度划痕：能看得到，但指甲盖感觉不出来的划痕。 修复组合：可以依次使用蓝色、橙色研磨片进行研磨，结尾用稀土抛光材料抛光。 整体来说，修复原理就是先研磨、后用稀土抛光材料抛光。具体解释就是：对于比较严重的划痕，先用颗粒度比较大的（35μ）玻璃研磨片进行研磨，先将划痕研磨掉，然后再使用细的研磨片（20μ、10μ、5μ）依次进行精磨，然后再用纯羊毛抛光盘和抛光膏进行抛光，把修复区域抛亮后，玻璃划痕修复结束。局部的、小范围的修复可以节约成本...