图3a是安装图,图3b是分解图。图4表示表示实施方式2的卡盘的图,其中,图4a是立体图,图4b是截面图。图5是实施方式2的卡盘的一部分的分解图。图6是实施方式2的卡盘的一部分的分解图,其中,图6a表示了前面主体、柱塞、以及夹爪,图6b表示前面主体的背面。图7说明进行把持精度的校正的结构的图,其中,图7a是沿x-x线的截面图,图7b是为了说明原理的图。图8是表示实施方式3的卡盘的图,其中,图8a是立体图,图8b是截面图,图8c是前面主体的背面图,图8d是调整子的立体图。图9是表示实施方式4的卡盘的图,其中,图9a是立体图,图9b是沿y1-y1线的截面图,图9c是表示调整螺丝的图,图9d是...

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