真空计(VacuumGauge),又称规,是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能,利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和电热偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。热偶真空计的皮拉尼电阻规配合电桥测量热丝电阻的变化,将有效提高测量的准确度。陕西榆林指针式热偶真空表价格
属于真空计有:(1)压缩式真空计:其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律,即将一定量待测压力的气体,经过等温压缩使之压力增加,以便用U型管真空计测量,然后用体积和压力的关系计算被测压力。(2)热传导真空计:利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。(3)热辐射真空计:利用低压下气体热辐射与压力有关原理。(4)电离真空计:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。陕西榆林指针式热偶真空表价格热偶真空计利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的特点是此真空计的原理。
热偶真空计规管加热电流的确定:由于制造热偶规管所用的材料及工艺等原因,每个规管的加热电流均不相同;在使用过程中也会因规管“老化”使得加热电流变大;此外,不同测量范围的加热电流也有差异。因此,认为在使用热偶计时,应按不同的量程确定规管的加热电流。①10~10-1Pa量程:规管须垂直倒置,在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV,即满刻度),其加热电流可调节范围为95~150mA。②102~10Pa量程:规管须垂直倒置,在0。1MPa时调定加热电流,其加热电流可调节范围为175~300mA或以上。热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些,但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。
数字热偶真空计使用说明:校准。零点、满度的校准,是对传感器线性校准,出厂时已在标准系统上校准并锁定,用户不可随意变动。零点、满度校准方法:把规管接在真空标准系统上。先按住《▲》键,再开电源,此时仪器进入校准状态。把真空标准系统抽到<0。01Pa,按《选择》键,使《零点》指示灯亮,按《确认》键,仪表示值为000。把真空标准系统调整到999Pa或附近(越接近越好),按《选择》键,使《满度》指示灯亮,按《确认》键,仪表示值为999。按《选择》键,使指示灯熄灭,此时回到测量状态,校准完毕后即关电源,校准被锁定。再开电源,进入测量状态。热偶真空计的薄膜电容规使用的优点是灵敏度很高。
电离真空计:当光电流占离子流的10%时即达到电离计的测量下限。将电离计规头收集极做成细丝并放在栅极轴线位置上,灯丝位于栅极外侧,这时电离计的灵敏度变化不大,而由于收集极面积小,它所截获的X射线比三极管型减少3个数量级,这种电离计可测量低至10-8帕的压强。它是1950年由贝亚得和阿尔玻特提出的,故称BA计。为测量10-9帕或更低的压强可采用调制BA计、引出极电离计、弯柱电离计或热阴极磁控电离计等。这些电离计还能在一定程度上排除栅极电子诱导脱附离子对压强测量的影响。热偶真空计须在高于环境温度的恒温条件使用,消除温度不同对膜片力学的影响,使用前一般需要预热数小时。陕西榆林指针式热偶真空表价格
热电偶真空计测得细线温度同时,也会受到细线本身的固体热传导和热辐射放热的影响。陕西榆林指针式热偶真空表价格
多通道热偶规真空计的设计:真空计是测量真空度的仪器,目前市场上大多数热偶规真空计都是一个热偶规对应一个真空计,虽然有数值显示,但只有开关量的输出,没有实时数据的输出,不方便二次开发和利用。多通道热偶规真空计可以同时对8路热偶规的信号做出处理,并且通过RS232将数据输出,可以更加直观的观察到真空度的变化。同时具有过载保护功能,当被测压力超出热偶规的量程时会自动切断恒流源对热偶规管进行保护。在使用的过程中不单节省了空间,降低了测试成本,而且减少了复杂的布线。陕西榆林指针式热偶真空表价格
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