Pirani电阻真空计构造。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立:Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为Qg = αΛπda(T-T0)p (2)和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下Qs = Sκ(T-T0)/L (3)Qr = πdaσε(T4-T04) (4)热传导真空计主要被应用于中低真空领域。丽水压敏真空计销售
实用的电阻真空计测量线路常采用惠氏电桥或文氏电桥。根据测量热丝电阻变化的方法不同,可分为三种模式:(1)定电压法:保持电桥两端电压不变,观察失平衡电流与压力的关系。(2)定电流法:保持热丝电流(或电桥电流)不变,观察失平衡电压与压力的关系。(3)定电阻法(即定温度法):在任何压力下都用改变电桥电压的方法,保持电桥于平衡状态。电桥电压与压力的关系即为校准曲线。在此方法中,热丝电阻及其温度基本为定值,具有热辐射及边杆导热均为恒定的优点。在以上三种模式中,常用的是定电压法和定温度法。丽水压敏真空计销售真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管。
倘若真空系统的真空度为粗真空时,对PM-2型来说,那么正好看右边U型真空计压力,其读数值是看两个化学物质珠所指的刻度数值相加之和,当真空度低于0.2KPa(即200Pa)时,两个化学物质柱端面基本处于平行,则要看左侧的真空表了,其操作方法与原麦氏真空表一样(表面印刷所示)。玻义耳-马略特定律:它反映气体的体积随压强改变而改变的规律。对于一定质量的气体,在其温度保持不变时,它的压强和体积成反比;或者说,其压强P与它的体积V的乘积为一常量,即 PV=C(常数)(T不变时)或 P1V1=P2V2=PnVn。式中常量的大小与气体系统的温度和气体的质量有关。实际气体只是在压强不太高、温度不太低的条件下才服从这一定律)。
真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不单能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离真空测量与控制。空泵用真空计还配置数字接口或者触碰显示器。
电离计的反应热真空计快,但因示漏气体在真空系统中建立足够分压需要较长时间,故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力范围,大致同于其测量范围,故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。电离计能检的较小可检漏孔约为1*10-6——1*10-7托升/秒。在真空计检漏中,即使示漏气体对着漏孔喷吹。或者示漏液体涂于漏孔,实际上都不可避免要夹带有空气进去,即示漏物质并没有彻底取代空气。带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用,另一方面还会引起不必要的读数波动,因为混进的空气分量时大时小。电阻真空计一般先校准零点,再进行满度校准。丽水压敏真空计销售
电阻真空计采用微处理机完成测量数据的采集和处理。丽水压敏真空计销售
环境温度的变化会直接影响到电阻真空计的测量误差。电阻式真空计对于微弱的光和热以及振动都很灵敏,引起的误差也很明显,而且不同的类型的电阻真空计(定压、定温、定流等),温度的影响也不尽相同。因此电阻真空计在实际使用中,需要采取各种补偿法来克服环境温度的影响。电阻真空计的规管使用时间长了之后也会导致测量误差,这个主要是由于规管的热丝发生了疲劳现象。如蒸镀过程中,规管热丝被蒸镀上金属物,导致电阻温度系数变化而引起误差甚至使规管失效无法测量,或者热丝由于温度较高且在低真空度下工作,而导致氧化,适应系数改变,也会导致极大的误差,甚至热丝被烧断。丽水压敏真空计销售
上海家君真空仪表制造有限公司致力于仪器仪表,以科技创新实现***管理的追求。公司自创立以来,投身于麦氏真空计,热偶真空计,电阻真空计,真空泵,是仪器仪表的主力军。家君真空仪表致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心,为用户带来良好体验。家君真空仪表始终关注仪器仪表行业。满足市场需求,提高产品价值,是我们前行的力量。