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温州台式氦质谱检漏仪技术指导

来源: 发布时间:2022年07月13日

氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的专门使用仪器,具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中,采用的是通用型检漏仪器,具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。是一种灵敏度较高的仪器,普遍应用于检测各种真空系统和零件的漏电,具有很好的实用价值。双层串联磁偏变装置与单层磁偏变装置相比,背景噪声明显降低,适用于超真空系统、元件和部件的检漏。逆电流式氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,将检件放置在检漏仪主抽泵的前级部位,因而具有在高压条件下能检漏,不会造成液氮污染和质谱室污染等特点.适用于对大漏率、真空环境卫生较差的真空系统的检漏。氦质谱检漏仪由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性,使其普遍应用。温州台式氦质谱检漏仪技术指导

氦质谱检漏仪真空法原理:采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷口的方式向被检产品外表面喷吹氦气,可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的氦气,可以实现被检产品总漏率的测量。真空法的优点是检测灵敏度高,可以精确定位,能实现大容器或复杂结构产品的检漏。宁波无损氦质谱检漏仪氦检模块氦质谱检漏仪需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准。

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中比较常用的两种方法。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了普遍应用。

氦质谱检漏仪使用时需要注意哪些事项?1、为试漏区配备足够的通风条件,检漏气体氦气如果泄露,就会像气球一样飞到试漏区的室顶,并逐渐漂满整个试漏区。纵然所有连接件是完全密闭的,但在连接或拆卸的过程中难免会释放少量的检漏气体。因此,为试漏区配备足够的通风条件是非常重要的。由于氦气有向上运动的趋向,建议从底部送入新鲜空气和从顶部排放气体至室外。2、保证试漏方向与使用中所受压力方向相同,许多密封件有一个首要选择的安装方向,且在这个方向才能起到密封作用。例如,径向轴封件,这种径向轴封件在一个方向有密封作用,相反方向将出现漏泄。同样,还有很多密封件都会有类似的情况。如果试漏方向与使用中所受压力方向相同,将易于找到实际的漏孔而不至于受到虚假报警的干扰。如果氦质谱检漏仪不是每天使用,建议每周开机检查一下。

氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法:灵敏度、反应时间、清理时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。反应时间、清理时间及其测定:反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间,记为τR。清理时间是指输出仪表讯号稳定到值后,停止送氦,其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。工作真空、极限真空及入口处抽速,质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。氦质谱检漏仪背压法优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测。宁波无损氦质谱检漏仪氦检模块

氦质谱检漏仪相比于传统检漏方法有哪些优势?温州台式氦质谱检漏仪技术指导

氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于较佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的较小漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到较佳值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“较小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,一般指在2min内输出仪表的波动量。如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时,给出仪器较小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin,能较方便地估计检漏效果。浓度灵敏度校准系统中应用出色量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o,则仪器浓度灵敏度。温州台式氦质谱检漏仪技术指导

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