一种新型真空搬运机械手的制作方法技术领域：本实用新型涉及一种机械手，特别是一种新型真空搬运机械手，适用于玻璃、卷材、管材以及其它表面较平整、形状较规则的各类物料的搬运。背景技术：开放以来，国民经济快速增长，“科技创新、自主创新”已成为国内工业发展的主流，我国工业正逐步向集约型、节能减排、低碳的方向发展。由于机械手为物料上下线和生产物品组装提供极理想的助力搬运和组装工具，可完成重物抓取、搬运、翻转、对接、微调角度等三维空间移载动作，因而用于工业生产中。机械手可部分替代人的繁重劳动以实现生产的机械化和自动化，在作业员的轻松操作下，可完成自动机器人的许多复杂工作，而生产及使用成本却大为降低，同时使用范围也，灵活性和机动性更大。真空搬运机械手适用于板材、玻璃、卷材、管材以及其它表面较平整、形状较规则的各类物料搬运。普通的起吊设备在运行时，存在一定的冲击力及反弹力，对工件损害较大，安全性能及定位精确度均达不到理想效果。科研单位与企业的技术人员在不断地探索、研究，希望研制出一种操作方便、性能优越的机械手，虽然取得了一定的进展，但在实际运用中仍然存在着尚未克服的技术难题。江宁区包装袋真空搬运机推荐厂家！静安区常见真空搬运机生产厂家
本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。静安区常见真空搬运机生产厂家栖霞区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！
并且沿着装载端口lp设置。第1区段内顶棚轨道11是以包围第1保管区域sa1的方式配置为环状的环绕轨道，第二区段内顶棚轨道12是以包围第二保管区域sa2的方式配置为环状的环绕轨道，但并不限定于该结构。第1区段内顶棚轨道11具有直线部11a和循环部11b。直线部11a在装载端口lp的正上方沿着多个装载端口lp在y方向上配置。直线部11a在俯视下分别配置于第1保管区域sa1与隔着第1保管区域sa1对置配置的多个装载端口lp之间。循环部11b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部11a彼此连接。第二区段内顶棚轨道12与第1区段内顶棚轨道11相同地，具有直线部12a和循环部12b。直线部12a在装载端口lp的正上方沿着装载端口lp与y方向平行地配置。直线部12a在俯视下分别配置于第二保管区域sa2与隔着第二保管区域sa2对置配置的多个装载端口lp之间。循环部12b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部12a彼此连接。此外，在本实施方式中，示出第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12是同一形状或者大致同一形状的例子，但第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12也可以是不同形状。第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14被设置为分别沿着x方向呈直线状延伸。
将沿上下方向和y方向排列的多个第1、第二保管部20a、20b中的较上层且y方向的两端的两个作为第1、第二交接端口30a、30b，并将其他作为第1、第二保管部20a、20b使用。在图1中对第1、第二交接端口30a、30b标注影线。这样，作为第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的较上层，由此能够通过高架搬运车50和第1、第二起重机40a、40b双方进行物品2的交接。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的两端的两个，能够将较上层的第1、第二保管部20a、20b的全部作为第1、第二交接端口30a、30b使用。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定第1、第二保管部20a、20b的较上层。第1、第二交接端口30a、30b例如也可以与第1、第二保管部20a、20b设置。例如，如图1所示，也可以在俯视下，在第1区段间顶棚轨道13与第1区段内顶棚轨道11之间、第二区段间顶棚轨道14与第1区段内顶棚轨道11之间、第1区段间顶棚轨道13与第二区段内顶棚轨道12之间、第二区段间顶棚轨道14与第二区段内顶棚轨道12之间设置交接端口130。第1、第二起重机40a、40b能够针对该交接端口130进行物品2的交接。另外。溧水区室内深加工真空搬运机推荐厂家！
真空搬运机械手的选型是根据需要搬运的工件大小、材质、重量来定的，不同的材质需要用不同材质的吸盘。比如工件表面比较粗糙的一般选项用硅胶或者聚胺脂吸盘，另外加上海绵吸盘唇，确保吸盘能安全吸附。对于表面比较光滑的工件如玻璃一般选用天然橡胶或者丁腈胶吸盘。机械手的工作环境的温度，湿度以及工件温度等都会影响的吸盘材质的选择。本实用新型的有益效果是I)操作简易快捷该机械手按照人体工学设计，随作业员的牵引力在上下前后左右三维空间自动帧测运行，减轻工人劳动负荷，操作方便灵活，提高工作效率；2)悬浮性无冲击力及不具有反弹力该机械手主要是依靠真空源在抽空吸盘内部的空气产生真空，可完成工件的无损伤搬运或上料，并确保产品组装时，柔性对接，避免普通起吊设备运行时的冲击性和反弹力，安全吸附，避免工件表面损伤；3)定位精确零重力悬浮状态，保证工件对接时随机移动精确定位。4)安全性高在真空泵断电的情况下，能量储备可以保持负载几个小时，只要吸盘内有适当的真空存在，负载就不会坠落。下面是结合附图和实施例对本实用新型作进一步描述图中是一种新型真空搬运机械手结构示意图。雨花台区多功能真空搬运机推荐厂家！静安区常见真空搬运机生产厂家
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由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能够作为能够供操作人员等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿着装载端口lp在y方向上排列配置多个。第1、第二保管部20a、20b在各个第1、第二保管区域sa1、sa2配置两列。第1、第二保管部20a、20b的各个列相对于装载端口lp的列在x方向对置配置。第1保管部20a配置于相对于第1区段内顶棚轨道11的直线部11a的正下方在x方向错开的位置。第二保管部20b配置于相对于第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的正下方在x方向错开的位置。在第1、第二保管区域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向设置两层。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于两层，可也以设置一层或者三层以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以设置于地板面上，来代替从顶棚悬挂。第1交接端口30a设置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b设置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有与第1、第二保管部20a、20b相同的结构，第1、第二保管部20a、20b中的一个或者多个作为第1、第二交接端口30a、30b使用。在本实施方式中。静安区常见真空搬运机生产厂家
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