半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压。半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体,因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。吉林变频螺杆真空泵哪家好
螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室,转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙,两个转子与泵体之间形成了密封腔,当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性,在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。昊青气体装备技术(江苏)有限公司生产的螺杆泵有以下的特点:1、真空度高,高真空区抽气量大。2、工作效率高,功耗低。3、泵腔内无油,对被抽系统无污染,可获得洁净真空。4、螺杆泵转子间隙相对较小,极限真空度更高,适用于半导体、电子工业中要求无油洁净的工作场合,可抽除大量水蒸气及多种腐蚀性介质,适用于化工、制药等工作环境较为恶劣的工作场合。5、工作过程中无废油、废水排放,对环境无污染。6、结构简单、紧凑,维修方便,占地面积小。昊青螺杆真空泵应用领域:制药工艺、化学工艺、溶媒回收、医疗仪器、生物制品、油气回收、薄膜制备、生化检测分析、半导体、微电子、太阳能、材料处理等相关设备及工艺流程。甘肃静音真空泵定制螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员,出现于上世纪90年代前后,发展较晚,但在面世后获得了快速发展。
在果汁、葡萄酒、啤酒和软饮料的生产中,即使是少量气体,也会迅速发展成不良因素。例如,溶解的氧气会促进细菌生长,破坏维生素 C 和其他抗氧化物质。这会影响饮料的气味、味道和保质期,还会导致变色,令人失去胃口。溶解的二氧化碳使纤维部分和水果碎片漂浮,然后沉积在表面。游离气泡还会促使泡沫的形成,尤其是之前加热过的饮料中。在此情况下,往往需要大幅降低浇注速度。 真空可以巧妙地去除已加工液体中不需要的气体。例如,在喷雾脱气工艺中,水通过喷嘴喷射到压力小于 300 毫巴的真空容器中。在脱气装置的负压作用下,气泡膨胀破裂。薄膜脱气主要用于生产果汁、葡萄酒和啤酒。在柱状容器中,饮料液体在中空纤维膜周围流动,而中空纤维膜只允许气体通过。溶解的气体穿透薄膜,真空泵借助吸力将其抽出。为使残余气体含量尽可能比较低,还可以在气体侧使用汽提气。氮气通常用于此目的。任何情况下,气体侧都会施加真空。压降从液体中“吸出”溶解的气体。
大型真空泵的特点:功率大,极限真空高,但是价格高昂、体积大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期维护,不易移动等。有的必须使用真空泵油或润滑油,工作中会产生油雾,但在低真空场合反而浪费,像实验室,只是需要泵对少量气体进采样、气体分析、气体循环、真空吸附、气体转移、增压、间接吸水、排水等时,用大型真空泵反而暴露出它的很多缺点。所以如何减弱这些缺点,对于专业的工作人员而言是个十分棘手的工作,但是依然值得大家期待。在真空技术中,一般用“真空度”和“压强”来表示真空程度。
昊青气体装备技术(江苏)有限公司位于江苏省昆山市,交通便利、通讯畅达,是一个集开发、研制、生产、销售于一体的现代化企业,汇集了一批从事真空技术研制开发的专业型人才,可为您提供技术咨询,真空设备选型及安装设计,解决设备使用维护的一系列问题。经过我公司科研人员坚持不懈的努力,产品已经系列化、批量化,产品技术性能日趋完善,年生产真空泵1000多台套。始终处于同行业中的地位。螺杆泵在使用过程中可能出现的问题及其处理方法:螺杆泵不吸水或不排水:其原因多为底阀卡死,滤水部分淤塞,吸水高度太高或吸水漏气,也可能因转向不对,叶轮流道堵塞等。通过逐一检查后,可分别采取修理底阀、清理淤塞物、纠正转向、清洗叶轮等措施处理。管路漏水或漏气:可能安装时螺帽拧得不紧。若渗漏不严重,可在漏气或漏水的地方涂抹水泥或用沥青油拌和的水泥浆。临时性的修理可涂些湿泥或软肥皂。若在接头处漏水,则可用手拧紧螺帽。泵机组和管路在使用一段时期后,应做好泵保养工作。若泵和管道都不拆卸时,应用盖板将出口封好,以防杂物进入。传动胶带不用时,应把胶带拆下。现实中,由于选型不合理,许多真空泵处于不正常状态运行,造成能源浪费,维修成本增加,甚至根本无法工作。甘肃静音真空泵定制
在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域,螺杆式真空泵备受青睐。吉林变频螺杆真空泵哪家好
螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子,在泵腔中作同步、高速反向运转,周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。螺杆转子经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵腔中,螺杆与螺杆之间维持严格一定的间隙。泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,腔内无需润滑油。因此,螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空高,消耗功率低,具有节能,免维修等优点。吉林变频螺杆真空泵哪家好
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