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来源: 发布时间:2022年05月04日

    一、概念的区别1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。2、光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。二、原理的区别1、真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。2、光的干涉在薄膜光学中广泛应用。光学薄膜技术的普遍方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀薄膜,一般用来控制基板对入射光束的反射率和透过率,以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜。随着激光技术的发展。无锡卷绕镀膜机哪家比较优惠?直销卷绕镀膜机欢迎来电

    对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展。为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等。光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理。三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约,凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如氩)通入已抽空的室内,保持压强约~,然后将阴极接上2000V的直流电源,便激发辉光放电,带正电的氩离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。(4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。2、光学镀膜方法材料(1)氟化镁:无色四方晶系粉末,纯度高,用其制光学镀膜可提高透过率,不出崩点。(2)二氧化硅:无色透明晶体,熔点高,硬度大,化学稳定性好。纯度高。直销卷绕镀膜机欢迎来电真空镀膜机哪家比较优惠?

    图1[蒸发镀膜设备示意图])电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源:用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源:适用于蒸发温度较高(不低于2000[618-1])的材料,即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比,具有较高的沉积速率,可镀制单质和不易热分解的化合物膜。为沉积高纯单晶膜层,可采用分子束外延方法。生长掺杂的GaAlAs单晶层的分子束外延装置如图2[分子束外延装置示意图]。喷射炉中装有分子束源,在超高真空下当它被加热到一定温度时,炉中元素以束状分子流射向基片。基片被加热到一定温度,沉积在基片上的分子可以徙动,按基片晶格次序生长结晶用分子束外延法可获得所需化学计量比的高纯化合物单晶膜,薄膜**慢生长速度可控制在1单层/秒。通过控制挡板,可精确地做出所需成分和结构的单晶薄膜。分子束外延法***用于制造各种光集成器件和各种超晶格结构薄膜。溅射镀膜用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面,沉积在基片上。溅射现象于1870年开始用于镀膜技术,1930年以后由于提高了沉积速率而逐渐用于工业生产。常用的二极溅射设备如图3[二极溅射示意图]。

    真空镀膜设备是由许多精密的零部件所组成的,这些零部件均经过许多机械加工流程而制作出来,如焊接、磨、车、刨、镗、铣等工序.正因为有了这些工作,导致设备零部件表面不可避免地会沾染一些加工带来的油脂、油垢、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物.这些污染物在真空条件下易挥发,从而对设备的极限真空造成影响.此外,这些机械加工带来的真空污染物在大气压环境中吸附大量的气体,而到了真空状态下,这些原先吸附的气体也会被再次释放出来,成为限制真空系统的极限真空的一大主要因素.为此,在真空镀膜机零件组装之前,必须先将污染物***掉.在使用真空设备过程中,其零部件还会受污染.不过这种来源的污染主要是使用条件、真空泵两方面造成的.1、真空规管的灯丝在高温条件下蒸发,将导致陶瓷绝缘子上形成一层薄膜,对其绝缘强度有一定的损坏,对其测量的准确性也有一定的影响;2、由于高温蒸发,会使真空中的电子***的灯丝附近表面形成一层金属膜;3、由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染;4、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染;5、经常使用真空干燥系统,该系统会受蒸发出来的物质所污染;6、真空镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源。卷绕镀膜机的组成分别有什么?

    这种方法的特点是:基板温升小,即能镀金属膜又能直接镀化合物膜,如氧化锌等;可用于镀电子器件,音响器件。11)多弧离子镀。利用阴极弧光进行加热;依靠蒸发原子束的定向运动使反应气体(或真空)离化。这种方法的特点是:基板温升较大,离化率高,沉积速率大;可用于镀机械制品,刀锯,模具。4.真空镀膜技术的发展趋势科技发展愈来愈快,信息高速公路,数字地球等新概念的提出,影响和带动了全球高科技的发展,目前,生命科学,环保科技,材料科学和纳米科技是高科技重点研究的领域;纳米科技中又以纳米电子学为优先研究领域。目前计算机和信息技术的基础是超大规模集成电路;但下个世纪的基本元件将是纳米电子集成电路。它是微电子器件的下一代,有自己的理论,技术和材料。现有微电子器件的主要材料是极纯的硅,锗等晶体半导体。纳米电子器件有可能是以有机或无机复合晶体薄膜为主要原理,要求纯度更高,结构更完善。真空制备的清洁环境,有希望加工组装出纳米电子器件所要求的结构。总之,表面和薄膜科学,微电子器件及纳米技术等迅速发展,将使一起开发和检测方法体系研究成为真空镀膜技术中的发展重点。卷绕镀膜机在安装时有什么注意事项?直销卷绕镀膜机欢迎来电

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