真空设备真空计的分类及应用：结构与工作原理： 压力控制仪可在手动和自动两种工况下运行。当开关S打到手动位置时，压力控制仪相当于一个手动微调真空阀，进行手动压力调节；当开关S打到自动位置时，压力控制仪构成一个闭环的自动控制系统，可实现压力定值自动调节其调节过程是：首先由给定单元设定希望控制的压力值，根据具体的被控对象的特性，选择好PID调节单元的比例度艿、积分时间Ti、微分时间Td等参数，当真空测量单元输出一个表征被控真空装置真空室压力高低的电压信号时，压力节单元可将压力设定值与压力测量值进行比较，并将差值进行运算（例如P、PI、PID）；然后通过驱动电路，驱动真空调节阀，改变进入真空室的气体流量，从而使真空室内的压力维持在给定值上。当然，这是理想的控制状态，实际上，由于压力控制仪的压力调节单元的特性所致，被控压力只能是趋近于给定压力值，并与给定压力值保持允许的偏差范围内。这个偏差值的大小，即表示压力控制仪压力控制精度的高低。皮拉尼电阻规需要在不同的使用气体下标定。广东真空计企业
真空规管，真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。热偶规：目前国内的热偶规主要有51系列，53B/54D等。主要应用于低真空测量。皮拉尼系列（电阻规管）：目前国内的电阻规型号主要是52T系列。主要以用于粗低真空测量。真空规管的工作原理：热偶规管的工作原理：热偶规管由灯丝F和热偶丝J点焊构成双金属丝。灯丝用稳定电源加热，热电偶产生的电动势用灵敏毫伏计指示。随着气体压力的改变，热导率因温度而变化。毫伏计连续指示相应的真空度。“短丝"型热偶规管测量范围300-10－1帕。广东真空计企业真空管(Vacuum Tube)，表示玻璃瓶内部抽真空，以利于游离电子的流动。
冷阴极电离真空计的优势在哪里？采用冷阴极后，消除了高温灯丝带来的化学消除作用，使真空计的读数不受影响。结构上因为不需要热丝电子发射和控制，简化了仪器的结构。被测容器发生意外漏气时，冷阴极电离真空计的规管不存在被烧毁的危险。冷阴极电离真空计的规管可以避免被真空系统内部的化学活性气体（如氧基碳水化合物蒸气）所毒化或破坏，因此使用寿命更长。冷规管的灵敏度比普通型热阴极电离规管灵敏度高1个数量级。因为简化了仪器的结构，因此冷规管的结构和控制线路均比较简单，易于制作。
放电气体环境真空规管辅助仪器.该仪器包括:两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极;在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压,实现第1级离子屏蔽和第二级电子屏蔽;两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口.该仪器结构简单,成本低廉,能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题,提高其测量稳定性和准确度,可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量,同时配合电离真空规管使用,测量放电气体的电离度,规避了传统气体电离度测量成本高,设备复杂的缺点,是一种易于在工业界推广的气体电离度监测仪器。装上后面板上显示的真空度一直在跳动，是什么原因？是不是真空规管坏了呢？
真空规管如何安装？真空规管一般是装在真空镀膜室的位置，是指电离规管，玻璃管端部用老虎钳夹破一点，放进真空室密封好，必须大气状态完成。（还有电阻规它是测粗真空的，这种没有规管，就一个传感器）用来监测真空度的，电离规开启一般是有要求的，当压强到3PA以下才开真空，可设置压强参数，到了会自动开，过早开会氧化电离规，导致烧。真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。真空管具有发射电子的阴极(K)和工作时通常加上高压的阳极或称屏极(P)。广东真空计企业
真空管是采用固态或真空电子设备的电源转换器，用于将部分输入电转换成射频功率。广东真空计企业
真空规管的清洗：清洗步骤：1、移开灯丝部分的挡板；2、加入酒精，浸泡5分钟；3、倒出酒精，放至干燥；4、安装挡板；5、连接开机调整零点。真空规管的调整方法：1、安装规管成正常使用状态；2、放气至大气压，等10分钟；3、按下调整电位器，规管自动调整满点；4、排空到小于1X10mbar，等待10分钟；5、按下调整电位器，规管自动调整零点。真空规管的常见故障：1、输出信号<0.5V。可能原因：无电源，需要调整灯丝故障；2、真空测量不准确。可能原因：零点漂移，需调整灯丝污染，需清洗；3、其它故障或无法解决，请与维修部门联系。广东真空计企业