向mcu发送对a加热区域进行降温的指令，mcu将该降温指令转换成降温驱动信号发送至a加热区域对应的加热器1，使得加热器1对静电夹盘进行降温，直至a加热区域的静电夹盘温度与b加热区域的静电夹盘温度相等或近似相等。本发明的多区加热器可以是光驱动器、蓝牙驱动器、其他半导体驱动器中任意一种，加热器驱动器与mcu可以集成在小尺寸的pcba或者分开，加热器驱动器与mcu直接置于多区加热器下方，可以节省射频滤波器的数目，减小不必要的射频滤波器，便于配置设计，结构简单，且小尺寸可以在满足功能的基础上，还能减轻了设计上对空间的需求，特别是位于静电夹盘下方，大尺寸无法实现结构设计，本发明的mcu与主机之间的通信方式还可以是不需要射频滤波的光纤通信或无线蓝牙通信。本发明中的多区加热系统除了可以用于电容耦合等离子处理器，也可以用于电感耦合(icp)等离子处理器。尽管本发明的内容已经通过上述推荐实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。千岛强力超薄型NBK-08。气压油缸强力超薄型夹盘
主体具有顶部表面和相对于顶部表面的底部表面，多个空腔形成于主体中且从顶部表面凹陷，及多个支撑元件将多个空腔分开，而从主体延伸至顶部表面。***多个通口形成于主体中且从顶部表面通过多个支撑元件的一个或多个而延伸至底部表面，且***导管与***多个通口的各者流体连通。第二多个通口形成于主体中且从多个空腔的各者的底部表面延伸至主体的底部表面。第二导管与第二多个通口的各者流体连通。在另一实施方式中，提供一种基板夹持装置。装置包括主体，主体具有顶部表面和相对于顶部表面的底部表面，多个空腔形成于主体中且从顶部表面凹陷，及多个支撑元件将多个空腔分开，而从主体延伸至顶部表面。聚合涂层设置于主体的顶部表面、多个支撑元件上，且在多个空腔之中。***电极组件设置于邻接主体的顶部表面且在多个支撑元件的各者之中，及第二电极组件设置于邻接多个空腔的各者。附图说明本公开内容的以上所载的特征可如以上简要概述的方式理解，本公开内容的更具体说明可参考实施方式而更详细了解，一些实施方式图示于随附附图中。然而，应理解随附附图*图解范例实施方式，且因此不应考虑为对其范围的限制，而认可其他均等效果的实施方式。全新强力超薄型夹盘市场价格上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务OPL系列。
主体201以金属材料形成，例如铝、不锈钢、或上述的合金、结合和混合物。在另一实施方式中，主体201以陶瓷材料形成，例如氮化硅材料、氮化铝材料、氧化铝材料、或上述的结合和混合物。在某些实施方式中，涂层设置于主体201的顶部表面202上。取决于所期望的实例，涂层为聚合材料，例如聚亚酰胺材料、聚酰胺材料或聚四氟乙烯(ptfe)材料的一种或多种。多个空腔206形成于主体201中。空腔206设置于主体201之中，且从顶部表面202延伸至主体201中。空腔206由底部表面203和侧壁205限定。空腔206的深度介于约100μm与约1000μm之间，例如介于约300μm与约700μm之间。应考虑空腔206的深度足以容纳形成于基板100上的微结构106，使得当基板100定位在夹持装置200上时，微结构106保持不与主体201接触。在一个实施方式中，多个空腔206形成于设置于主体201上的材料层中。在一个实施方式中，空腔206的形状对应至小晶片104的形状。举例而言，若小晶片104为方形或矩形的，则空腔206的形状将类似地为方形或矩形的。然而，应考虑空腔206的尺寸可大于或小于相对应至小晶片104的区域。空腔206由多个支撑元件208分开，多个支撑元件208为主体201的部分，且从主体201延伸至主体201的顶部表面202。
并利用固定机构的螺纹运动带有橡胶块的载盘，将钢丝复合管的一端固定在***放置孔内部，可防止地面上的水腐蚀钢丝复合管，且搬运钢丝复合管时，只需使本实用新型在地面上滚动，无需逐一搬运钢丝复合管，效率高，省时省力。附图说明图1为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型固定盘的结构示意图；图3为本实用新型***夹盘的结构示意图；图4为本实用新型限位机构的结构示意图。图中：1、固定盘；2、***放置孔；3、卡槽；4、***夹盘；5、***插环；6、限位孔；7、限位机构；71、固定板；72、插销；73、通槽；74、限位板；75、挡板；8、凹槽；9、固定机构；91、螺杆；92、载盘；93、橡胶块；94、手轮；10、螺孔；11、第二夹盘；12、第二放置孔；13、第二插环。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种钢丝复合管用储料夹盘，包括固定盘1。千岛手动卡盘适合任何加工中心使用。
螺杆91位于所在凹槽8内部的一端均转动连接有载盘92，载盘92远离所在螺杆91的一侧均固定连接有橡胶块93，螺杆91远离固定盘1的一端均固定连接有手轮94，便于将钢丝复合管固定在所在***放置孔2的内部，固定盘1的另一侧设有第二夹盘11，第二夹盘11的直径和固定盘1的直径相同，第二夹盘11的内部设有若干第二放置孔12，第二放置孔12的数量和***放置孔2的数量相同且一一对应，便于支撑住钢丝复合管的中部，***夹盘4靠近固定盘1的一侧固定连接有***插环5，***插环5卡接在同侧卡槽3的内部，第二夹盘11靠近固定盘1的一侧固定连接有第二插环13，第二插环13卡接在同侧卡槽3的内部，便于将***夹盘4和第二夹盘11固定在固定盘1上。具体的，使用本实用新型时，将本实用新型移动到放置钢丝复合管的地方，在第二放置孔12的内部逐一插入钢丝复合管，并将钢丝复合管插入所在第二放置孔12对应的***放置孔2内部，然后转动其中一个固定机构9的螺杆91，将橡胶块93挤入对应的钢丝复合管的内部，将此钢丝复合管的一端固定在所在***放置孔2的内部，再重复上述步骤固定住其他钢丝复合管的一端，然后将第二夹盘11从固定盘1上取下来，并滑动到钢丝复合管的中部，支撑住钢丝复合管的中部。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务PY系列。全新强力超薄型夹盘市场价格
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在某些实施方式中，涂层602设置于主体601的顶部表面603上。取决于所期望的实例，涂层602为聚合材料，例如聚亚酰胺材料、聚酰胺材料、或聚四氟乙烯(ptfe)材料的一种或多种。多个空腔626形成于主体601中。空腔626设置于主体601之中，且从顶部表面603延伸至主体601中。空腔626由底部表面628和侧壁630限定。空腔626的深度介于约μm与约1000μm之间，例如介于约300μm与约700μm之间。应考虑空腔626的深度足以容纳形成于基板100上的微结构106，使得当基板100定位在夹持装置600上时，微结构106保持不与主体601接触。涂层602沿着主体601的顶部表面603延伸，且在空腔626的侧壁630和底部表面628上。类似地，涂层602在限定空腔626的侧壁630的支撑构件608上延伸。涂层602的厚度考虑为足够厚而能够将基板100静电夹持至主体601。如此，涂层602相信能经由电极组件612、614而影响施加至基板100的静电力。***电极组件612设置于主体601之中，邻接主体601的顶部表面603。***电极组件612包括耦接至***功率源620的一个或多个导线。在一个实施方式中，***电极组件612为单一导线。或者，***电极组件612包括多个导线。在此实施方式中，***电极组件612的导线可以交错布置的方式设置。气压油缸强力超薄型夹盘
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