密封件111的底部1111和外壁1112分别包裹杯形夹盘101基部1011的底壁和侧壁的外表面。**后,固定环109通过多个螺丝110固定在杯形夹盘101边沿1013的底部,固定环109紧压密封件111的突起1113。参考图20b所示,图20b揭示了本发明的基本原理。为了提高基板缺口区域附近镀层的均匀性,盖板被配置为遮盖基板的缺口区域,在基板进行电镀时屏蔽缺口区域的电场。如图20b所示,在电镀过程中,因为盖板3033被配置为遮盖基板的缺口区域3031,与缺口区域3031相对应的虚拟阳极3001发出的电力线被屏蔽,减弱了对邻近缺口区域3031的图形区域3032的影响,因此,降低了邻近缺口区域3031的图形区域3032的镀层的厚度,提高了基板镀层的均匀性。较佳地,盖板3033也遮盖部分邻近缺口区域3031的图形区域3032,来减弱图形区域3032的电场,进而降低图形区域3032的镀层的厚度。参考图21所示,图21是效果对比图。在图21中,线1对应的是没有缺口区域的基板的电镀数据,这样整个基板在电镀过程中被电镀。没有缺口区域的整个基板的镀柱高度是均匀的。线2对应的是有缺口区域的基板但是在电镀过程中没有盖板遮盖缺口区域的电镀数据。在邻近缺口区域的图形区域的镀柱高度逐渐增高。千岛方型超薄手动卡盘适合任何加工中心使用。青海小型强力超薄型夹盘
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线3对应的是有缺口区域的基板且在电镀过程中有盖板遮盖缺口区域的电镀数据。邻近缺口区域的图形区域的镀柱高度降低至趋近线1。从图21中可以知道,有盖板的电镀效果明显优于没有盖板的电镀效果。参考图22至图25所示,揭示了根据本发明的一个实施例的电镀夹盘。电镀夹盘200与装置100相类似,电镀夹盘200与装置100之间的主要区别是电镀夹盘200包括护罩2040。电镀夹盘200与装置100相类似的结构以下将不再详细描述。接下来将主要介绍护罩2040。如图25所示,护罩2040具有底壁2041、从底壁2041向上延伸的侧壁2042、从侧壁2042顶部向外延伸的顶壁2043。底壁2041水平突出形成盖板2044。在一个实施例中,在盖板2044上设有开口2045。开口2045是一个狭长的切口。开口2045靠近底壁2041。护罩2040可以由塑料、橡胶或者具有绝缘涂层的金属制成。在组装时,护罩2040的底壁2041紧贴着密封件111的底部1111且包裹部分密封件111的底部1111,例如包裹大约三分之二的密封件111的底部1111.护罩2040的侧壁2042紧贴着密封件111的外壁1112。护罩2040的顶壁2043紧贴着杯形夹盘101的边沿1013并通过多个如螺丝钉的固定件固定在杯形夹盘101的边沿1013。采取这种方式。
在一个实施方式中,***平面616比第二平面618更靠近顶部表面603而设置。在另一实施方式中,***电极组件612和第二电极组件614两者设置于第二平面618中。通过根据上述实施方式将电极组件612、614设置于主体601之中,可在支撑元件608和空腔626的区域中实现基板100的不同静电夹持。因此,可在静电夹持期间横跨基板100调整基板平坦度。尽管以上所述的装置200、600分别涉及真空和静电夹持,应考虑例如卡环、边缘环、屏蔽环及类似者的其他基板定位装置也可根据此处所述的实施方式而寻找优点实例。基板定位装置可单独使用或与装置200、600的真空和静电夹持能力结合使用。综上所述,具有空腔形成于其中的基板夹持装置能够夹持具有微结构形成于其表面上的基板,而用于双面基板处理。夹持装置包括以上所述的各种真空或静电夹持元件,及经型态选择以在处理期间支撑基板的切口区域的夹持主体。尽管以上涉及本公开内容的实施方式,可设计本公开内容的其他和进一步实施方式而不会背离本公开内容的基本范围,且本公开内容的范围由随附权利要求书来确定。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品,及售后服务OPT-L系列。
并不用于限定本实用新型。[0013]相反,本实用新型涵盖任何由权利要求定义的在本实用新型的精髓和范围上做的替代、修改、等效方法以及方案。进一步,为了使公众对本实用新型有更好的了解,在下文对本实用新型的细节描述中,详尽描述了一些特定的细节部分。对本领域技术人员来说没有这些细节部分的描述也可以完全理解本实用新型。[0014]参考图1,所示为本实用新型一种夹网高弹热熔膜,包括HJ热熔胶A(l)、弹性网布(2)、PU热熔胶B(3)、离型纸保护层(4),其特征在于热熔胶A(1)、弹性网布(2)、PU热熔胶B(3)、离型纸保护层(4),依次层状复合。所述的一种夹网高弹热熔膜的重量为:200g/m2o[0015]根据生产技术要求可选用相应宽度和厚度的HJ热熔胶A(I)。[0016]HJ热熔胶A(I)[0017]PU热熔胶A(I)置于弹性网布(2)之上,通过复合处理,使PU热熔胶A(I)粘接在弹性网布(2)表面上。[0018]弹性网布(2)[0019]根据客户的要求选用相应厚度、宽带、材质、网眼、克重的弹性网布(2)。[0020]PU热熔胶B(3)[0021]在弹性网布(2)之下再复合一层PU热熔胶B(3)。[0022]离型纸保护层(4)[0023]在HJ热熔胶B(3)之下与离型纸保护层(4)复合。[0024]通过以上技术方案生产出来的夹网高弹热熔膜。千岛超薄型夹盘SE-04.山东油压油缸强力超薄型夹盘
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