氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的较小漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到较佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“较小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的波动量。如果检漏时用辅助系统抽气（即对示漏氦气有分流）。或用累积法检漏时，给出仪器较小可检氦浓度（即浓度灵敏度）。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。浓度灵敏度校准系统中应用出色量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。绍兴移动式氦质谱检漏仪氦检模块
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中比较常用的两种方法。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。绍兴移动式氦质谱检漏仪氦检模块氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法有哪些？
氦质谱检漏仪常见的检漏法：1、负压法检漏，负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。2、正压法检漏，正压法检漏与负压法检漏相反，吸口接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济，而且检漏速度慢，一般采取正压检漏。3、压氦法检漏，压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。
氦质谱检漏仪常见的故障和处理：1、内部的泄漏，当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。2、本底信号不稳定，1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏，将室内的门窗打开通风，降低环境本底。2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有可靠的接地。氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能好。
氦质谱检漏仪作为一种测量仪器，需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准，以保证设备自身检测精度。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。绍兴移动式氦质谱检漏仪氦检模块
氦质谱检漏仪具有双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换的功能。绍兴移动式氦质谱检漏仪氦检模块
氦质谱检漏仪使用时需要注意哪些事项?1、为试漏区配备足够的通风条件，检漏气体氦气如果泄露，就会像气球一样飞到试漏区的室顶，并逐渐漂满整个试漏区。纵然所有连接件是完全密闭的，但在连接或拆卸的过程中难免会释放少量的检漏气体。因此，为试漏区配备足够的通风条件是非常重要的。由于氦气有向上运动的趋向，建议从底部送入新鲜空气和从顶部排放气体至室外。2、保证试漏方向与使用中所受压力方向相同，许多密封件有一个首要选择的安装方向，且在这个方向才能起到密封作用。例如，径向轴封件，这种径向轴封件在一个方向有密封作用，相反方向将出现漏泄。同样，还有很多密封件都会有类似的情况。如果试漏方向与使用中所受压力方向相同，将易于找到实际的漏孔而不至于受到虚假报警的干扰。绍兴移动式氦质谱检漏仪氦检模块
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